?公司簡(jiǎn)介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國(guó)弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測(cè)試工具，用于測(cè)量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測(cè)定和x射線衍射等領(lǐng)域。 

?產(chǎn)品介紹

 --弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測(cè)儀--少子壽命）系列主要用于測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測(cè)和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設(shè)計(jì)*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。

 --這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化以及常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測(cè)量等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。可以說，MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測(cè)儀--少子壽命）算得上是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

?特性&優(yōu)勢(shì):

 --無接觸和無破壞的半導(dǎo)體檢測(cè)；

 --特殊“underneath the surface”壽命測(cè)量技術(shù)；

 --對(duì)不可見缺陷的可視化測(cè)試具有很高靈敏度；

 --自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)；

 --空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測(cè)；

 --多項(xiàng)數(shù)據(jù)同時(shí)自動(dòng)檢測(cè)掃描，5幅測(cè)量圖形同時(shí)繪制；

 --堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)和易于設(shè)置的性能。安裝，僅需要電源。

?應(yīng)用實(shí)例

-1.日常壽命測(cè)量，質(zhì)量控制和檢驗(yàn)

 --產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天
 --測(cè)量速度：對(duì)于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠，<4分鐘
 --良品率提升：1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
 --質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅
 --沾污檢測(cè)：起源于坩堝和生產(chǎn)設(shè)備的金屬(Fe)
 --可靠性：模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器，更高可靠性，運(yùn)行時(shí)間> 99%
 --可重復(fù)性:> 99.5%
 --電阻率：可做面掃描，不需經(jīng)常校準(zhǔn)

-2. 精密材料研發(fā)

 --a.鐵濃度測(cè)定
 --b.陷阱濃度測(cè)定
 --c.硼氧測(cè)定
 --d.依賴于注入的測(cè)量等