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1925年PierreAuger在威爾遜云室中發現了俄歇電子，并進行了理論解釋，俄歇電子以他的名字命名。1953年，JamesJosephLander使用了電子束激發俄歇電子能譜，并探討了俄歇效應應用于表面分析的可能性。1967年LarryHarris提出了微分處理來增強AES譜圖信號。美國明尼蘇達大學的RolandWeber,PaulPalmberg和他們的導師BillPeria進行的研究揭示了俄歇電子能譜的表面靈敏特性，研制了早期商用俄歇表面分析儀器（如圖1所示），并基于...

晶圓片在線面掃檢測儀是一種用于半導體行業的高精度設備，通過實時檢測和分析晶圓片表面的缺陷和污染物，提高半導體生產質量。作為半導體制造過程的重要環節，在線面掃檢測儀能夠提供高效、準確的檢測和分析，幫助半導體工廠及時發現和解決潛在問題，保證產品質量和可靠性。該在線面掃檢測儀利用高分辨率的光學傳感器和圖像處理技術，能夠對晶圓片表面進行快速、全面的檢測。它能夠檢測并分類各種缺陷和污染物，如劃痕、斑點、氣泡、污染和裂紋等，提供精確的位置和尺寸信息。通過分析采集到的圖像和數據，在線面掃檢...

高分辨率X射線衍射(HRXRD)是一種強大的無損檢測方法，其研究對象主要是單晶材料、單晶外延薄膜材料以及各種低維半導體異質結構。普遍用于單晶質量、外延薄膜的厚度、組分、晶胞參數、缺陷、失配、弛豫、應力等結構參數的測試。現代HRXRD與常規XRD的區別主要體現在：（1）高度平行且高度單色的高質量X射線；（2）不僅要測試倒易格點的位置（角度），還要測試倒易格點的形狀（缺陷）；（3）更高的理論要求-動力學理論。GaN做第三代半導體，目前用于電力電子、高頻器件和發光二極管(LED)技...

由于X射線可以對樣品進行無損的檢測，現代的X射線衍射儀可以對藥物樣品進行普遍的原位分析。比如不同溫度下，不同濕度，不同壓力下的晶型的變化。這些原位的研究方法不僅可以分析藥物晶型的穩定性，還可以為發現新晶型提供新的研究思路和方法。圖1不同溫度下的晶型衍射圖譜變化（Storey,PfizerGlobalR&D(2003)隨著藥物晶型監管力度逐步增加，單純的定性分析原料藥API或制劑中的晶型已不能滿足質量研究的要求，對藥物制劑中的有效晶型的定量分析，是藥物生產中質量控制過程中非常重...

目前的半導體產業正面臨CMOS微縮極限的挑戰,業界需要通過半導體封裝技術的不斷創新和發展來彌補性能上的差距。不過，這同時也帶來了日益復雜的封裝架構和新的制造挑戰,當然，同時更是增加了封裝故障的風險。而這些發生故障的位置往往隱藏于復雜的三維結構之中,傳統的故障位置確認方法似乎已經難以滿足高效分析的需求了。因此，行業需要新的技術手段來有效地篩選和確定產生故障的根本原因。而可以無損表征樣品三維結構的XRM技術剛好迎合了半導體行業的這一需求，通過提供亞微米和納米級別的3D圖像，這一技...

XRM技術在生命科學領域中有著非常廣泛的應用，高分辨斷層三維掃描主要可以應用于骨科學、口腔科學、植物學以及醫學領域中的呼吸系統研究、血管系統研究以及生物制藥研究等方面。這其中，骨科學是早引入XRM技術的，且目前的應用情況為成熟。實例大鼠骨小梁局部壁厚分布三維表征，BrukerSkyscan1276骨活檢，機械載荷，BrukerSkyscan1275羊骨，鈦植入物三維形貌表征，BrukerSkyscan1275小鼠脛骨壁厚分布三維體渲染圖，BrukerSkyscan1272雌性...

隨著藥物晶型監管力度逐步增加，單純的定性分析原料藥API或制劑中的晶型已不能滿足質量研究的要求，對藥物制劑中的有效晶型的定量分析，是藥物生產中質量控制過程中非常重要的環節。X射線粉末衍射可用于定量混合物中結晶相的強大技術，其可以提供每個物相0.1-1wt.%的檢出限，廣泛應用于制藥工業、材料學研究等工業、學術應用的定量分析。目前對于藥物制劑中的晶型或是雜質定量分析方法有標準曲線法（圖1），Rietveld全譜擬合法（圖2）等。除了常規的定量分析PXRD還能對藥物制劑進行結晶度...

電池材料中所含物質的晶體結構可以通過分析x射線衍射圖譜來獲得。而在電池材料結構精修以及電化學原位XRD應用中，通過電化學原位XRD實時檢測充放電過程中的x射線衍射圖譜可以進一步探究材料的結構演變規律，進而加深對電池結構的認識。實例一鈉電池層狀正極材料XRD結構精修我們以常見的P2相鈉離子電池層狀正極材料為例展開應用研究，P2型的NaxTMO2有兩種過渡金屬層（AB和BA），鈉離子位于三棱柱的位置并且也有兩種不同的配位環境，分別稱為Nae和Naf位點。兩個位點由于距離過近庫侖斥...